太阳能薄膜电池沉积系统 英文名称： Solar thin film battery deposition system 规格型号： PECVD 所属单位： 常州大学 仪器原值： 144.70(万元) 启用日期： 2010/1/3 生产厂商： 苏州硕光科技有限公司 产地国别： CHN.中国 安放地址： 中国,江苏省,常州市,武进区 技术指标： 1、腔室配置及真空系统  　　1个预抽室，1个样品传递室（配装高真空机械手），3～6个样品制备室；  　　样品制备室包括：PECVD室和PVD（磁控溅射）室，数量由用户选定；  　　所有腔室有独立的分子泵真空机组；  　　腔体带烘烤系统。  2、系统控制  　　控制系统采用计算机控制，能够实现工艺程序自动化；  　　触摸屏控制，动画实时显示工艺过程的状况和提示。  3、腔室材质  　　采用304号不锈钢（奥氏体）或以上质量材质（由用户选定）。  4、薄膜沉积  　　所有衬底均向上沉积；  5、传输系统  功能及应用领域： 主要用于硅基薄膜太阳电池的制备。可用于科学研究和中试生产。  　　能够沉积未掺杂或掺杂的非晶/微晶等不同类型的硅基薄膜，也包括沉积硅基薄膜电池的功能材料层，具有制备完整硅基薄膜太阳电池的能力。  　　操作方式：手动、半自动、全自动方式运行。  　　样品传递采用公司专利产品——高真空机械手完成 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877