离子束刻蚀系统 分类编码： 120302 英文名称： 无 规格型号： AD-IBE150 所属单位： 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 仪器原值： 37.17(万元) 启用日期： 2019/11/25 生产厂商： 北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司 产地国别： 中国 技术指标： 极限真空<10-5Pa，工作真空<5×10-4Pa，工件台尺寸>150mm，有效离子束直径>100mm，刻蚀非均匀度<5%（100mm直径内），刻蚀气体Ar，工件台最高自转速度>5rpm，倾角0~20度，同时后期可扩展反应离子束刻蚀功能，计算机＋PLC控制 功能及应用领域： 需要适用于金属、合金、非金属、氧化物、氮化物、碳化物、半导体、聚合物、陶瓷等刻蚀，如Au、Pt、Ti、Cr、Al等常见金属，ZnO2、SiO2、 Al2O3、BaTiO3等氧化 仪器联系人： 高双 联系人电话： 13911156647 邮政编码： 315201 电子邮件： gaoshuang@nimte.ac.cn 参考收费标准： 无