显微镜（扫描电子） 分类编码： 010102 规格型号： Evo10 分　　类： 扫描电镜 仪器原值： 117.90(万元) 启用日期： 2021/11/23 生产厂商： 卡尔蔡司（上海）管理有限公司 产地国别： 德国 技术指标： 1电子光学系统要求1.1 电子枪：钨灯丝电子枪1.2 分辨率：高真空二次电子像≥3.0nm @ 30 kV，≥8.0nm @ 3 kV1.3 加速电压：0.2 - 30 kV，10V步进连续可调1.4 电子束流：最小不高于0.5 pA，最大不低于3.5μA，连续可调1.5 最小放大倍数不大于10 X,低倍率与高倍率无需任何模式更换1.6 能谱仪分析工作距离在35度出射角时小于等于9mm1.7 具有光电关联软硬件接口，支持升级同品牌光镜和软件进行一次性定位多个关联区域2探测器要求2.1样品室二次电子探测器2.2背散射电子探测器2.3原装CCD相机，可以实时观测样品仓和样品状态3真空系统3.1涡轮分子泵：250立升/秒3.2旋转泵：独立两级10立方米/小时3.3样品室真空度：高真空模式优于6×10-4Pa4能谱仪4.1探测器：氮化硅漂移晶体，超薄窗口，完全独立真空；晶体实际面积不小于30mm24.2元素分析范围Be4—Am95，能分析包括B、C、N等在内的轻元素4.3免维护性：无需加液氮，帕尔帖制冷，随时可以断电，探头不结霜4.4分辨率MnKa优于129eV4.5输出最大计数率：大于500,000CPS谱峰，可处理最大计数率优于600,000CPS4.6软件：能谱应用软件操作简便界面清楚，适合于不同层次的用户尽快掌握；可用于多点光谱，线扫描，测绘，量化，漂移校正分析 功能及应用领域： 二次电子成像，背散射电子成像，能谱分析 仪器联系人： 欧剑