光刻机 分类编码： 120302 英文名称： 无 规格型号： AQ6375B 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 浙江省固态光电器件重点实验室 仪器原值： 56.00(万元) 启用日期： 2011/1/1 生产厂商： MIDS 产地国别： 韩国 技术指标： 350W紫外强度可控光源，平面光源尺寸4.2*4.2英寸，支持2英寸4英寸光刻 功能及应用领域： 用于半导体工艺中的光刻工艺 仪器联系人： 马云 联系人电话： 15068050892 邮政编码： 312004 电子邮件： mayun@zjnu.cn 参考收费标准： 200每样品