真空多功能溅射设备
分类编码:039900
英文名称:Vacuum multifunctional sputtering equipment
规格型号:JGP-560III
所属单位:安徽大学
仪器原值:142.50(万元)
生产厂商:中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
产地国别:中国
安放地址:安徽大学物理与材料科学院理工E楼
技术指标:*4、脉宽:<8ns
功能及应用领域:主要用于各种金属,氧化物的纳米薄膜的制备和氧化
仪器联系人:王磊
联系人电话:0551-63861381
邮政编码:230601
电子邮件:275409371@qq.com
参考收费标准:800元/小时,包括抽真空时间