低压化学气相淀积台 分类编码： 030202 英文名称： 无 规格型号： SRD/L4210 分　　类： 计量仪器 所属单位： 中国计量大学 仪器原值： 61.50(万元) 启用日期： 2012/12/19 生产厂商： 青岛赛瑞达设备制造有限公司 产地国别： 中国 技术指标： 主要技术指标 ◆ 适用硅片尺寸：4~6 ◆ 工作温度范围：350~1000℃ ◆ 恒温长度及精度：760mm±1℃ ◆ 温度梯度：0~30℃可调 ◆ 系统极限真空度：0.8 Pa ◆ 工作压力范围：30Pa~133Pa可调 ◆ 淀积膜种类：Si3N4 片内 ＜±3% 片间 ＜±3% 批间 ＜±4% ◆ 淀积膜均匀性：Poiy－Si 片内 ＜±3% 片间 ＜±3% 批间 ＜±4% ◆ 淀积膜均匀性：SiO2 片内 ＜±3% 功能及应用领域： LPCVD 用于淀 积Poly－Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及难熔金属硅化物等多种薄膜。广泛应用于半导体集成电路、电力、 电子、光电子及MEMS等行业的生产工艺中。 仪器联系人： 黄艳岩 联系人电话： 87676285 邮政编码： 310018 电子邮件： hyy9791@cjlu.edu.cn 参考收费标准： 400元/次