SIO2料沉积设备
分类编码：
120499
英文名称：
SiO2 Deposition Machine
规格型号：
PECVD
所属单位：
浙江省光电磁传感技术研究重点实验室
仪器原值：
37.57(万元)
启用日期：
2003/12/31
生产厂商：
沈阳中科院
产地国别：
中国
技术指标：
*
功能及应用领域：
*
仪器联系人：
何赛灵
联系人电话：
88206513
邮政编码：
310058
电子邮件：
sailing@zju.edu.cn
参考收费标准：
无
