TCP刻蚀机 分类编码： 120302 英文名称： 无 规格型号： Ctrie-200L 分　　类： 工艺实验设备 所属单位： 浙江省固态光电器件重点实验室 仪器原值： 153.70(万元) 启用日期： 2013/12/16 生产厂商： 聚昌科技 产地国别： 中国 技术指标： TCP刻蚀机的刻蚀分辨率：100nm；基片尺寸：2英寸、4英寸； 功能及应用领域： 用于Si、GaN、蓝宝石等材料的干法蚀刻 仪器联系人： 马云 联系人电话： 15068050892 邮政编码： 312004 电子邮件： mayun@zjnu.cn 参考收费标准： 200每样品