光学轮廓仪 分类编码： 010899 英文名称： Optical Profilometer 规格型号： 无 分　　类： 分析仪器 所属单位： 衢州学院 仪器原值： 78.00(万元) 启用日期： 2012/6/20 生产厂商： KLA-Tencor 产地国别： 美国 技术指标： RMS可重复性（标准模式）：1nm 外侧面采样：0.11到8.8μm；垂直扫描范围：30μm-100μm 功能及应用领域： 二维、三维干涉高精度成像 仪器联系人： 程亮 联系人电话： 13967017811 邮政编码： 324000 电子邮件： 553446336@qq.com 参考收费标准： 按学校规定