磁控溅射镀膜机
规格型号：
ATC-2200-UHV
所属单位：
杭州电子科技大学
生产厂商：
纳德
技术指标：
背底真空10^-6Pa，晶圆尺寸4”，靶枪×8
功能及应用领域：
纳米薄膜镀层制备
联系人电话：
86919089
参考收费标准：
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