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| 多功能真空镀膜系统 |
| 分类编码： | 120499 | | 英文名称： | 无 | | 规格型号： | DE500 | | 分 类： | 工艺实验设备 | | 所属单位： | 台州学院 | | 仪器原值： | 143.52(万元) | | 启用日期： | 2011/12/16 | | 生产厂商： | 德仪科技（北京）有限公司 | | 产地国别： | 中国 | | 技术指标： | 技术指标：该系统有两个真空腔室，采用机械手送样，换样时不破坏主真空室真空；配置3个2英寸强磁靶枪和1个热蒸发源，可实现磁控溅射镀膜和热蒸发镀膜；配备两台500W直流电源，一台300W射频电源；热蒸发最高温度可到达1500摄氏度；样品室退火温度可达1000摄氏度；主真空室的极限真空可达到5*10-8Torr，预真空室的真空度可达到6*10-6Torr；整机采用计算机+PLC全自动控制方式，实现智能化操作。 | | 功能及应用领域： | 可用于磁控溅射及热蒸发镀膜；科研教学。 | | 仪器联系人： | 张平 | | 联系人电话： | 13857619149 | | 邮政编码： | 318000 | | 电子邮件： | zhangp03@126.com | | 参考收费标准： | 500元/每小时 |
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