机械划片机 英文名称： Dicer 规格型号： DAD3650 所属单位： 江苏物联网研究发展中心 仪器原值： 86.66(万元) 启用日期： 2012/9/1 生产厂商： DISCO 产地国别： JPN.日本 安放地址： 中国,江苏省,无锡市,惠山区 技术指标： 双主轴功率为1.8KW，转速6000-60000rpm。 Y1/Y2轴单步步进量0.0001mm，定位精度0.003mm以内/260mm。 Z1/Z2轴移动量解析度0.00005mm，重复精度0.001mm。 θ轴最大旋转角度320deg。 功能及应用领域： DAD3650是全自动双轴机械划片机，可用于多种材质的6inch和8inch晶圆或WLP晶圆的划片，也可用于最大250mm的方形基板切割。 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877