双光子三维光刻机 分类编码： 120303 英文名称： Photonic Professional GT 规格型号： Photonic Professional GT 所属单位： 浙江省3D微纳加工和表征研究重点实验室 仪器原值： 413.73(万元) 启用日期： 2018/8/23 生产厂商： Nanoscribe 产地国别： 德国 服务领域： 材料,生物医学,电子与测量 技术指标： 1. 横向最小特征线宽：200 nm 2. 垂直最佳打印精度：1500 nm 3. 可打印层间距：300 nm - 5 μm 4. 最大打印高度：8 mm 5. 最大打印体积：100 mm^3 6. 最小表面粗糙度：≤ 20 nm 7. 扫描速率：≤ 100 mm/s 功能及应用领域： 采用双光子聚合（Two-Photon Polymerization,2PP）打印技术，能够在多种衬底（如玻璃基片、硅片、微流控芯片、光子芯片等）上进行快速的增材型的结构制备或直接对光刻胶进行图案化加工，从而实现包括晶格、多孔支架、桥架在内的任意复杂的三维微结构，实现亚微米精度的微加工。在工作模式的选择上，可根据打印精度和打印速度的需求，灵活地选择压电陶瓷逐层扫描模式（Piezo）或振镜扫描模式（Galvo）。 服务内容： 1. 用户预约送样并委托设备管理员制样； 2. 经培训合格的用户，在获得设备管理员授权之后，可自主制样。 仪器联系人： 李西军 联系人电话： 0571-88119591 邮政编码： 310024 电子邮件： lixijun@westlake.edu.cn 参考收费标准： 校内500元/小时； 校外1000元/小时