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| 电子束蒸发系统 |
| 分类编码： | 120302 | | 英文名称： | Ultra high vacuum deposition system | | 规格型号： | MUE-ECO-EB | | 所属单位： | 浙江省增材制造材料技术重点实验室 | | 仪器原值： | 102.09(万元) | | 启用日期： | 2009/9/30 | | 生产厂商： | ULVAC | | 产地国别： | 日本 | | 技术指标： | 超高真空电子束金属淀积 | | 功能及应用领域： | 在超高真空条件下，用电子束加热块体金属，使金属蒸发，在基片上淀积成膜。 | | 仪器联系人： | 张洪亮 | | 联系人电话： | 0574-86685173 | | 邮政编码： | 315201 | | 电子邮件： | zhanghl@nimte.ac.cn | | 参考收费标准： | 400/次 |
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