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| 台阶仪 |
| 分类编码： | 020101 | | 英文名称： | stylus profiler | | 规格型号： | step-p7 | | 所属单位： | 材化学院 | | 仪器原值： | 33.14(万元) | | 启用日期： | 2014/6/17 | | 生产厂商： | KLA-Tencor公司 | | 产地国别： | 美国 | | 技术指标： | 高分辨率应小于0.38Å测试高度方向的重复性小于6 Å单线最大扫描长度大于150mm直方向的扫描范围大于900微米,测试所允许的最大样品高度大于50mm次扫描最大采样点数大于120,000 | | 功能及应用领域： | 测薄膜厚度 | | 仪器联系人： | 冯唐福 | | 联系人电话： | 0574-87616076 | | 邮政编码： | 315211 | | 电子邮件： | ftf1028@126.com | | 参考收费标准： | 100元/小时 |
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