光谱式椭偏仪 英文名称： Spectroscopic Ellipsometer 规格型号： M-2000Ⅴ 所属单位： 苏州大学 仪器原值： 51.44(万元) 启用日期： 2013/12/5 生产厂商： J. A. Woollam Co., Inc. 产地国别： USA.美国 安放地址： 中国,江苏省,苏州市,吴中区 技术指标： 测量光谱范围370nm到1000nm内的390个数据; 全光谱所有数据点同时测量; 最小数据采集时间约为20HZ; 全光谱典型数据采集时间1-5秒; 准直光束，光斑直径2-5mm; 功能及应用领域： 光谱式椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。其应用包括光学镀膜和保护膜、聚合物、光刻材料、平面平板显示、计算机读写头以及半导体集成电路制造的研究开发。另外,在生物、医药、化学、电化学及基材料研究等方面应用也越来越多。 仪器联系人： 吴祺昶 联系人电话： 025-85485877