红外测试仪 分类编码： 049901 英文名称： FTIR 规格型号： QS500/QS408/ 分　　类： 电子测量仪器 所属单位： 杭州士兰集成电路有限公司 仪器原值： 160.00(万元) 启用日期： 2005/5/17 生产厂商： BIO-RAD 产地国别： 美国 安放地址： 杭州士兰集成电路 技术指标： 无 功能及应用领域： 广泛应用于分析PSG薄膜、BPSG薄膜、 Si3N4薄膜、外延层硅片。 QS FTIR提供的PCR和PLS技术可用于测试BPSG薄膜中的B、P含量，还可用于测试Si3N4薄膜中的氢含量，硅中的碳、氧含量以及外延层的厚度 仪器联系人： 程宏亮 联系人电话： 0571-86714088-7812 电子邮件： 开放机时安排： 周一至周五 参考收费标准： 面议