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准分子激光器
分类编码: 129900
英文名称:Excimer laser
规格型号:CoMPerPro 201
所属单位:材料科学与工程学院
仪器原值:69.30(万元)
启用日期:2010/12/21
生产厂商:Coherent(相干)有限公司
产地国别:中国
技术指标:激光波长248nm, 频率10Hz, 最大能量700mJ
功能及应用领域:用于脉冲激光沉积设备,提供激光光源
仪器联系人:窦老师
联系人电话:15829710351
邮政编码:310027
电子邮件:qqdou@zju.edu.cn
参考收费标准:执行学校收费标准