| 精密单面软抛光机（抛光液非循环) |
| 英文名称： | Precise MianRuan polishing machine | | 规格型号： | ASP-910 | | 所属单位： | 盐城工学院 | | 仪器原值： | 64.00(万元) | | 启用日期： | 2013/4/1 | | 生产厂商： | 韩国AM技术公司 | | 产地国别： | KOR.韩国 | | 安放地址： | 中国,江苏省,盐城市,亭湖区 | | 技术指标： | 在厂商指定工艺参数条件下，精抛光2英寸蓝宝石衬底的材料去除率为1微米，表面为镜面无划痕无损伤，表面粗糙度小于1纳米，厚度差小于3微米。 | | 功能及应用领域： | 晶体半导体材料的超精密抛光，精抛光工艺。 | | 仪器联系人： | 吴祺昶 | | 联系人电话： | 025-85485877 |
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