磁控与离子束复合测射沉积系统 分类编码： 120302 英文名称： ** 规格型号： FJT-560# 所属单位： 浙江师范大学 仪器原值： 44.50(万元) 启用日期： 2010/6/9 生产厂商： 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 产地国别： 中国 技术指标： 极限真空小于等于6.67E-6Pa；系统经大气抽气，40分钟可达6.6E-4Pa;停泵关机12小时后真空度小于等于5Pa 功能及应用领域： 用于生长单层及多层功能膜 仪器联系人： 马云 联系人电话： 15068050892 邮政编码： 321004 电子邮件： mayun@zjnu.cn 参考收费标准： 200/次